
產品說明
專門為各類小流量氣體測量和過程控制設計的微機電氣體質量傳感器可根據客戶的具體應用要求來訂做。這類傳感器均采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作。產品適用于各類清潔氣體的應用。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑(3~50mm)。成本低、易安裝、不需溫壓補償,可替代容積式或壓差原理的傳統流量計并可配以多種信號輸出,通過通訊接口實現網絡管理功能。
產品特點
·傳感器靈敏度高,極小的始動流量。
·傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度及壓力補償,保障了傳感器的高精度計量。
·在單個芯片上實現了多傳感器集成,使該傳感器的量程比大大提高。
·8~24V供電。
·傳感器零點穩定度較傳統的熱式質量流量計有極大的改善。
·結合二次儀表的微控制器智能技術,使該傳感器重復性好,實現了計量準確可靠。
·與傳統的封裝技術采用直接測量,無需旁路,壓力損失大副度減小。
·與智能流量計算機相連,可遠傳數據,也可現場顯示。
·本傳感器有RS485通訊模塊,配合上位計算機網絡可實現集中管理。
·用戶根據需要可以選擇4~20mA輸出、電平輸出或脈沖輸出模塊。
·體積小、安裝方便。
·可用于小至3mm的管徑,特別對于微流量測量和控制有其獨特的優越性。
產品選型
這類產品本公司通常根據用戶的要求定制。以下所列為幾類常規產品。
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型號 |
FSG4003 |
FSG4008 |
FSG4000S-1 |
FSG4000S-2 |
FSG5000 |
適用 介質 |
清潔氣體 |
清潔氣體 |
清潔氣體 |
清潔氣體 |
清潔氣體 |
壓力/ 溫度 |
<0.7MPa/-10~ |
<0.7MPa/-10~ |
<1.5MPa/-10~ |
<1.5MPa/-10~ |
<1.5MPa/-10~ |
通徑 范圍 |
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3~ |
5~ |
15~ |
測量 精度 |
±(2.0+05FS)% |
±(1.5+05FS)% |
±(1.5+05FS)% |
±(1.5+05FS)% |
±(1.5+05FS)% |
重復性 |
±0.75% |
±0.75% |
±0.75% |
±0.75% |
±0.75% |
供電 |
8~24VDC |
8~24VDC |
8~24VDC |
8~24VDC |
8~24VDC |
輸出 |
RS485 |
RS485 |
RS485/4~20mA |
RS485/4~20mA |
RS485/4~20mA |
安裝 連接 |
錐形管 |
NPT |
NPT/BSPT |
NPT/BSPT |
NPT/BSPT |
產品機械結構和材料
下表所列機械尺寸可供參考。本公司可根據用戶的要求修改。
型號/材料 |
機械尺寸 |
FSG4003
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FSG4008
聚碳 |
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FSG4000S-1
304或316不銹鋼 其它材料可選 |
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FSG4000S-2
304或316不銹鋼 其它材料可選 |
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FSG5000
304或316不銹鋼 其它材料可選 |
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產品流量范圍
通徑(mm) |
流量范圍(NL/min) |
流量范圍(Nm3/h) | |||
FSG4003 |
FSG4008 |
FSG4000S-1 |
FSG4000S-2 |
FSG5000 | |
3 |
0~1 0~2 0~3 0~4 0~5 (固定通徑 |
0~10 0~15 0~20 0~25 0~30 (固定通徑 |
0~4 |
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4 |
0~8 | ||||
5 |
0~10 |
0~10 | |||
6 |
0~15 |
0~15 | |||
8 |
0~30 |
0~30 | |||
10 |
0~50 |
0~50 | |||
12 |
0~65 |
0~65 | |||
15 |
0~100 |
0~100 |
0~35 | ||
20 |
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0~200 |
0~65 | ||
25 |
0~300 |
0~100 | |||
32 |
|
0~160 | |||
40 |
0~250 | ||||
50 |
0~400 |

